ウェーハを清潔に保つために：加熱の真実
クラス100のクリーンルームで作業している場合、粒子が発生するという悩みはご存知でしょう。わずかな金属片や安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハの品質が低下してしまいます。本当に厄介です。
そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。
合成石英製のケースは、まるでボディガードのような役割を果たします。これにより、ヒーターフィラメントが外部に露出することがなく、金属粒子がウェーハ表面に付着する心配がありません。必要な熱量は得られますが、汚染の心配はありません。
なぜ合成石英なのか？
それは、この材料がどのように応力に耐えるかによります。合成石英は高温になってもあまり変形せず、短波長のIR放射線を通過させます。
そのチューブの中では、タングステンフィラメントが制御されたハロゲンサイクルを繰り返します。これが秘密のポイントで、時間が経ってもチューブが暗くなるのを防ぎます。ガラスが透明な状態を保つため、ウェーハ全体に均一な熱が行き渡ります。冷える部分もなく、予期せぬ問題も起きません。
熱量の調整
使用可能なスペースに応じて、ワット数や電圧を調整できます。
高処理能力のラインを運用している場合は、高出力のランプが適しています。素早く目標温度に到達できるので、生産効率が上がります。
しかし注意が必要です。集中した熱はどこかに逃がさなければなりません。冷却ファンや水冷装置を適切に調整しないと、熱が筐体周辺に蓄積されます。それを放置すると、部品が早期に故障してしまいます。とても簡単です。
設置方法
これらのランプは、既存のシステムにそのまま取り付けられるように設計されています。
石英と導線の間の密封は真空状態になっており、空気が入らず、ハロゲンガスが安定しているようになっています。これにより、より良い性能が得られます。
接続する際のヒント：接点を清潔に保ちましょう。端子に酸化があると、ホットスポットが発生し、ランプがすぐに壊れてしまいます。また、定格電圧を守りましょう。フィラメントに過度な負荷をかけないようにしてください。