ファブ工場の加熱ソリューション

ファブの現場では、オーブンの設定値は単なる画面上の数値に過ぎません。実際に重要なのは、ウェーハ全体にわたってフォトレジストが経験する温度条件です。もし温度分布が均一でなくなると、CD制御も不安定になり、エッチングの条件も同様に悪化します。 技術的に重要な点 私たちは、±0.1℃という高い精度でウェ...