省エネ型ウェーハヒーター
ウェーハを清潔に保つために:加熱の真実
クラス100のクリーンルームで作業している場合、粒子が発生するという悩みはご存知でしょう。わずかな金属片や安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハの品質が低下してしまいます。本当に厄介です。
そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています...
省エネ型半導体ヒーター
半導体製造工程におけるチューブの破損について心配する必要はありません。正直に言えば、大量生産時に赤外線ランプが破損してしまうと、それは大変な問題です。機械が停止するだけでなく、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに付着してしまいます。わずかなひび割れでも、生産効率を台無しにしてしまいます。だからこ...