機械を壊さないために：IR熱をうまく扱う方法 もし、高出力の赤外線ランプを半導体装置に搭載したことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。常に「熱の問題」と戦わなければなりません。 通常のランプは、まるで小さな太陽のように、あらゆる方向にエネルギーを放出します。問題は、その熱の半分がワークピースに当...

ウェーハがスピントラックに到達し、時計が動き始める。ライン上では、1分間の温度変動がクリティカルディメンションを変化させるのに十分であり、1つの粒子が全ロットを無効にする可能性がある。古いドライヤーは300 mm全体で均一性を保つことができず、クリーンさも維持できなかった。我々はその変動を排除する...