ウェーハ用高精度IRセンサー

高精度なIR加熱を用いてウェーハ処理における二酸化炭素排出量を削減する 半導体製造の現場で働いたことがある人なら、熱の精度がいかに重要かを理解しているでしょう。長年にわたり、私たちはアニーリングや硬化処理のために大規模な抵抗式オーブンを利用してきましたが、正直なところ、これらはエネルギーを多く消費...