モリブデン支持赤外線ランプ

ウェーハフロア上では、フォトレジストのベークは単なる温度管理のステップではなく、熱的な契約である。ソフトベークやハードベークで1℃の変動があると、重要な寸法がずれ、それに伴いラインの歩留まりも変動する。そこで、モリブデン支持の赤外線ランプを開発し、その熱的ラインをサイクルごとに安定して保持している...