クリーンルーム設備の更新 ファブ内で実施
なぜIR硬化がファブのアップグレードに最適なのか
クリーンルームの設備をアップグレードする際、一般的には2つの課題があります。1つはエネルギーの無駄遣いを防ぐこと、もう1つは無鉛化の基準を確実に満たすことです。
多くの古い方式では、対流式オーブンが使われています。これは空気を加熱し、その空気がウェ...
クリーンルーム用赤外線ヒーター
なぜスマートファブの熱管理に赤外線を利用するのか? もしスマートファブを構築しようとしているのであれば、従来の加熱方法、つまり温風を送り込む方式ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。特にクリーンルーム内ではそうです。 実際、クリーンな環境では、空気の流れが最大の敵です。空気の流れによっ...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
クリーンルームでの二酸化炭素排出量削減:なぜ赤外線ベンチヒーターが効果的なのか
正直に言って、クリーンルームはエネルギーの消費が激しい場所です。もしまだ古い方式の対流式オーブンを使っているなら、数枚のウェーハを適切な温度にするために、部屋全体を加熱する必要があります。これは金銭的な無駄遣いであり、...