スピンコーター用ベイクランプ

リソグラフィー工程において、ベイク処理は単なるウォームアップではありません。これはフォトレジストの特性を定めるための重要な工程です。ソフトベイクでもハードベイクでも、2℃程度の温度変動があると、寸法制御が乱れ、ライン上に汚れが残ってしまいます。スピンコーター用のベイクランプの役割は、分単位でプロセ...