すすぎ用の防水赤外線ランプ

ウェーハの加熱を適切に行うために（エネルギーを無駄にしない方法） シリコンウェーハの洗浄処理を行う際、バランスを取るのが難しい。表面を乾かしつつ高温に保つ必要があるが、チャンバー全体をオーブンのようにしてしまったり、過度な電力を消費したくはないのだ。 私たちは、防水仕様のIRランプと金メッキされた...