揮発性化学物質の周辺でIRヒーターを安全に使用するために 半導体のウェットプロセスに従事したことがある人なら、その危険性はよく理解しているでしょう。そこでは、腐食性が強く、可燃性の高い洗剤が使われており、最悪の場合には爆発の危険もあります。 では、高温の赤外線ランプをそのような場所に設置するとどう...

半導体製造工程におけるチューブの破損について心配する必要はありません。正直に言えば、大量生産時に赤外線ランプが破損してしまうと、それは大変な問題です。機械が停止するだけでなく、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに付着してしまいます。わずかなひび割れでも、生産効率を台無しにしてしまいます。だからこ...

ツール内の熱によるドリフトを防ぐ方法 正直に言うと、半導体製造装置の内部を加熱しようとして、壁を焼けばかりしてしまうのは大変な問題です。 もし従来の対流式ヒーターや全方位型ヒーターを使う場合、結局は熱があちこちに散らばってしまいます。そうなると「熱い壁」ができてしまい、それは大惨事の元です。筐体が...

このヒーター要素を作ったのには、たった一つの理由だけがあります。それは、長時間にわたる焼成工程の中でも、オーブンの温度を正確に制御し続けることです。0.1度単位での精度が求められます。 ウェーハ加工を行う場合、わずかな温度の変動でも製品が廃棄されてしまいます。ですから、シフトを重ねても、日々繰り返...

製造現場では、トロリーヒーターの熱変動は大きな問題としては扱われません。それは、フォトレジストを焼成する際に0.3℃程度の偏差として現れるだけです。そして、その結果、ウェーハの線幅にも偏差が生じ、それを解消するのに1週間もかかってしまいます。私たちは、クリーンルーム用のトロリーヒーターを設計する際...

リソグラフィ工程では、ソフトベークとハードベークの間にほとんど余裕がない。0.5℃の変動でフォトレジストの厚みが変わり、クリティカルディメンションのバイアスがずれ、突然歩留まりが仕様から外れてしまう。そこで、プロセスの許容範囲を狭め、安定化させるために有機半導体乾燥用ランプを開発した。 内部のポイ...