ウェーハの加熱を適切に行うために（エネルギーを無駄にしない方法）
シリコンウェーハの洗浄処理を行う際、バランスを取るのが難しい。表面を乾かしつつ高温に保つ必要があるが、チャンバー全体をオーブンのようにしてしまったり、過度な電力を消費したくはないのだ。 私たちは、防水仕様のIRランプと金メッキされた反射板を組み合わせることでこれを解決している。なぜそれが重要かというと、以下の理由からだ。
なぜ金なのか？
多くの人はアルミニウム製の反射板を使用する。確かに安価だ。しかし、アルミニウムは赤外線エネルギーを吸収してしまい、本来必要な場所に届けることができない。 一方、金は近赤外線光を効果的に反射する特性を持っている。これは見栄のためではなく、光子を効率的にウェーハに戻すためだ。その結果、ウェーハはより迅速に目標温度に到達し、必要な電力も少なくて済む。つまり、効率的なのだ。
熱の管理
これらのランプは、湿った環境でも問題なく動作するように設計されている。放射熱を集中させることで、不要な熱が機械の外に漏れ出るのを防ぐ。そうすることで、正確に必要な場所に熱が届くのだ。 もちろん、金は安くない。初期コストは、研磨済みのアルミニウムを使う場合よりも高くなる。ただし、より短い処理時間や低い電力代がそのコストに見合うかどうかを判断すればよい。通常は、そうだ。
ランプの長寿命化
最良な点は、これらのランプが既存のIR装置にそのまま交換可能であることだ。密封性もしっかりしているので、洗浄剤が内部に入り込んでフィラメントを傷めることはない。 注意点として、冷却システムがウェーハ部分での過剰な熱に対応できない場合、異常な温度上昇が起こる可能性がある。PID制御をしっかり監視しましょう。 また、毎四半期ごとに反射板をチェックすることをお勧めします。汚れや不純物が付着すると、反射率が低下します。その結果、ランプは余計に努力しなければならず、本来より早く壊れてしまいます。清潔に保てば、長く使えます。