停止ランプの故障によってバッチ全体が台無しになるのを防ぎましょう。 大量生産ラインでは、赤外線ランプが壊れるというのは単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは大惨事です。 例えば、グローブボックス内で石英管が破裂したとします。すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎま...

このヒーター要素は、赤外線式のバスルーム用ライトの直接的な交換品として設計されています。その目的は、湿気の多い密閉空間でも安全を保ちつつ、部屋を素早く温めることです。これは、十分な熱量と確かな電気的保護、そして適切な光量を実現するためのバランスの取れた設計です。 電力、電圧、サイズ——シンプルに設...

このヒーター要素を作ったのには、たった一つの理由だけがあります。それは、長時間にわたる焼成工程の中でも、オーブンの温度を正確に制御し続けることです。0.1度単位での精度が求められます。 ウェーハ加工を行う場合、わずかな温度の変動でも製品が廃棄されてしまいます。ですから、シフトを重ねても、日々繰り返...