省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハを清潔に保つために：加熱の真実 クラス100のクリーンルームで作業している場合、粒子が発生するという悩みはご存知でしょう。わずかな金属片や安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハの品質が低下してしまいます。本当に厄介です。 そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています...