フォトレジスト ソフトベーク温度 IR

リソグラフィフロアにおいて、ソフトベイクは単なるウォームアップではない。これはフォトレジストの溶剤プロファイルを設定し、膜厚を固定し、露光および現像に直結する寸法公差を形成する工程である。ベイクが不均一であれば、緩やかな変動にはならず、ライン幅のばらつき、サイドウォールのフットング、そして最も影響...