低温システム用サポートヒーター

製造現場において、温度の安定性は単なる望ましい条件ではなく、プロセスを円滑に進めるための不可欠な要素です。ウエハの乾燥やフォトレジストの取り扱いにおいては、わずか数十分の1度程度の温度変動でも、重要な寸法に影響を与えたり、残留物が残ったり、表面に欠陥が生じたりします。そこで、私たちは、基板が処理さ...