機械の加熱をやめて、ウェーハの乾燥に力を入れましょう。 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェーハを乾燥させるのがどれほど難しいかご存知でしょう。常に残留物と戦っているのです。 従来の方法である通常の対流式オーブンを使うのは非効率的です。結局、チャンバー全体が加熱されてしまいます。これはエ...

リソグラフィ工程では、ソフトベークとハードベークの間にほとんど余裕がない。0.5℃の変動でフォトレジストの厚みが変わり、クリティカルディメンションのバイアスがずれ、突然歩留まりが仕様から外れてしまう。そこで、プロセスの許容範囲を狭め、安定化させるために有機半導体乾燥用ランプを開発した。 内部のポイ...