なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） ウェーハの加熱処理を行う際には、ミスの余地は一切ありません。わずかな電気アークや絶縁不良があるだけで、ランプが壊れるだけでなく、一括りのシリコン製品全体が台無しになってしまいます。これは、誰もが避けたい悪夢です。 そのため、私た...

快適で、目を傷つけないバスルーム用ヒーターの作り方 バスルーム用のヒーターを設計する際、私たちはいくつかの課題に直面します。まず、防水性能が必要です。具体的にはIP44規格が求められます。そうすれば、少量の水がかかっても電子部品が破壊されることはありません。しかし、本当の問題は水ではありません。そ...

ファブの現場では、オーブンの設定値は単なる画面上の数値に過ぎません。実際に重要なのは、ウェーハ全体にわたってフォトレジストが経験する温度条件です。もし温度分布が均一でなくなると、CD制御も不安定になり、エッチングの条件も同様に悪化します。 技術的に重要な点 私たちは、±0.1℃という高い精度でウェ...