半導体ヒーター用熱電対

ツール内の熱によるドリフトを防ぐ方法 正直に言うと、半導体製造装置の内部を加熱しようとして、壁を焼けばかりしてしまうのは大変な問題です。 もし従来の対流式ヒーターや全方位型ヒーターを使う場合、結局は熱があちこちに散らばってしまいます。そうなると「熱い壁」ができてしまい、それは大惨事の元です。筐体が...