なぜ赤外線加熱が、無鉛でエネルギー効率の高い半導体乾燥に最適なのか 私たちは、半導体の乾燥用に特化したクリーンルーム用オーブン用赤外線ヒーターを製造しています。無鉛化を実現し、規制を完全に遵守するためには、業界では依然として赤外線加熱が最適な手段とされています。 なぜでしょうか？それは物理的な原理...

このヒーター要素を作ったのには、たった一つの理由だけがあります。それは、長時間にわたる焼成工程の中でも、オーブンの温度を正確に制御し続けることです。0.1度単位での精度が求められます。 ウェーハ加工を行う場合、わずかな温度の変動でも製品が廃棄されてしまいます。ですから、シフトを重ねても、日々繰り返...