なぜIR硬化がファブのアップグレードに最適なのか クリーンルームの設備をアップグレードする際、一般的には2つの課題があります。1つはエネルギーの無駄遣いを防ぐこと、もう1つは無鉛化の基準を確実に満たすことです。 多くの古い方式では、対流式オーブンが使われています。これは空気を加熱し、その空気がウェ...

熱の無駄遣いを止めよう：金コーティングされたクォーツの魔法 ウェーハの製造においては、シリコン表面に熱を与えるのが非常に難しいことがすぐにわかります。 問題は、一般的なランプはエネルギーをあらゆる方向に放出してしまう点です。つまり、消費されるエネルギーの半分はウェーハではなく、機械自体を加熱するた...

なぜ、大きな対流式オーブンの代わりに赤外線硬化装置を使うのか？ 半導体工場では、ようやく、巨大な対流式オーブンや、それに伴う化学薬品を使った乾燥処理を廃止している。みんなが赤外線硬化装置を利用するようになっているのだ。なぜかというと、これにより「環境に優しい」「鉛フリー」の条件を満たしつつ、生産ラ...

揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーターを使用する際の安全対策 もしあなたが化学物質を使った清掃作業を行っているのであれば、その危険性はよくご存知でしょう。可燃性の溶剤や蒸気を扱っているわけですから、ちょっとした火花やクォーツ管の微細なひび割れでも、瞬時に火災が発生してしまいます。 このような状況にお...

なぜ半導体製造において熱風を使わずに赤外線を利用するのか もし依然として熱風循環方式を使っているのであれば、おそらく多くの時間を待つことに費やしていることでしょう。半導体の高度な加工プロセスにおいては、この待ち時間が大きなボトルネックとなります。 赤外線加熱に切り替えるということは、高価な新しい装...

認定された赤外線硬化ランプ：半導体の乾燥に最適なソリューション これからは、半導体製造に特化して設計された赤外線硬化ランプについて説明しましょう。ここでは、規則に妥協する余地はありません。鉛を含まず、クリーンで効率的に動作し、世界基準を完全に満たしています。このような製造ラインでは、単に熱を上げる...

ファブの現場では、オーブンの設定値は単なる画面上の数値に過ぎません。実際に重要なのは、ウェーハ全体にわたってフォトレジストが経験する温度条件です。もし温度分布が均一でなくなると、CD制御も不安定になり、エッチングの条件も同様に悪化します。 技術的に重要な点 私たちは、±0.1℃という高い精度でウェ...

実際の工程においては、フォトレジストは理論など気にしません。90℃で行うソフトベイクの際、温度が0.5度だけ変動しても、ウェーハ全体の厚みにばらつきが生じます。その結果、露光の精度が低下します。その代償として、スクラップや再工程が発生し、設備の稼働効率も悪くなります。 技術的に重要な点は何か？ 私...

製造現場において、フォトレジストの焼成時に1°Cの温度変動があっても、それは「わずかな偏差」とは言えません。その結果、線幅のばらつきや不良品が発生します。IR加熱は精密に制御可能ですが、そのためにはIR光源に供給される電圧が十分に安定している必要があります。私たちは、この制約条件を満たすようにIR...

ファブ内では、ソフトベイクオーブンの温度が1℃でも変動すると、それは単なる些細な問題ではありません。それは製品の歩留まりに悪影響を与えます。ウェーハの乾燥やフォトレジストの事前加熱、露光後の硬化処理などは、すべて厳格な温度管理の下で行われます。だからこそ、私たちは中国に加熱装置の生産拠点を設置した...