化学的に不安定な物質を赤外線ヒーターと一緒に使用するのは、明らかに危険な行為です。つまり、プロセスの途中で発火のリスクが高くなってしまいます。 私たちはこの問題を解決する方法を見つけました。すべてが露出しているような設計の代わりに、全体を密閉した構造にしています。 安全を実現する方法 通常の赤外線...

機械の加熱をやめて、ウェーハの乾燥に力を入れましょう。 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェーハを乾燥させるのがどれほど難しいかご存知でしょう。常に残留物と戦っているのです。 従来の方法である通常の対流式オーブンを使うのは非効率的です。結局、チャンバー全体が加熱されてしまいます。これはエ...

なぜ、すべての赤外線ランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） スマートセンサーのパッケージングにおいては、わずかな絶縁不良があっただけで、制御ボードが破損したり、高速生産ラインが停止してしまう可能性があります。これは誰も望まない最悪の事態です。 そのため、私たちは「バッチサンプリング...

高精度なIR加熱を用いてウェーハ処理における二酸化炭素排出量を削減する 半導体製造の現場で働いたことがある人なら、熱の精度がいかに重要かを理解しているでしょう。長年にわたり、私たちはアニーリングや硬化処理のために大規模な抵抗式オーブンを利用してきましたが、正直なところ、これらはエネルギーを多く消費...