化学的に不安定な物質を赤外線ヒーターと一緒に使用するのは、明らかに危険な行為です。つまり、プロセスの途中で発火のリスクが高くなってしまいます。
私たちはこの問題を解決する方法を見つけました。すべてが露出しているような設計の代わりに、全体を密閉した構造にしています。
安全を実現する方法 通常の赤外線ランプは、電気接続部や密封部分から漏れが起こりやすく、化学的な環境では機能しなくなります。そうなると問題が発生します。
これを防ぐために、2段階の処理を行います。まず、ランプをサファイアや耐化学性のある石英でできたケースに入れます。次に、電気接続部を高温で耐爆性のある樹脂で封止します。
簡単に言えば、火花が発生する前にそれを防ぐのです。また、この密封構造は、腐食性の強い洗浄剤にも耐えられるようになっているため、数ヶ月間使用しても壊れたり漏れたりしません。
熱対策 こうした保護措置を施すと、熱密度が低下するのではないかと思うかもしれませんが、そうではありません。私たちは、IR放射線がウェーハに届くように、ケースの厚みを丁寧に調整しています。
ただし、注意点があります。保護層を追加すると質量が増えるため、PIDの調整も以前と同じようにはいきません。古い装置にこれらのランプを取り付ける場合は、古い設定をそのまま使わないでください。温度曲線を再調整する必要があります。
設置方法 これらのランプは、そのまま交換可能なように設計されています。安全なシールドがランプに内蔵されているため、大きくて重い防爆キャビネットを用意する必要はありません。
これにより、スペースを節約でき、作業環境も清潔に保たれます。配線が自分のクリーンルームの規格に合っているかを確認すれば、問題なく使用できます。