ウェーハを清潔に保つために：加熱の真実 クラス100のクリーンルームで作業している場合、粒子が発生するという悩みはご存知でしょう。わずかな金属片や安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハの品質が低下してしまいます。本当に厄介です。 そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています...

化学的に不安定な物質を赤外線ヒーターと一緒に使用するのは、明らかに危険な行為です。つまり、プロセスの途中で発火のリスクが高くなってしまいます。 私たちはこの問題を解決する方法を見つけました。すべてが露出しているような設計の代わりに、全体を密閉した構造にしています。 安全を実現する方法 通常の赤外線...

機械の加熱をやめて、ウェーハの乾燥に力を入れましょう。 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェーハを乾燥させるのがどれほど難しいかご存知でしょう。常に残留物と戦っているのです。 従来の方法である通常の対流式オーブンを使うのは非効率的です。結局、チャンバー全体が加熱されてしまいます。これはエ...

化学処理を行う際には、ウェハーを安全に保つことが重要です。ウェハーの硬化には多くの熱が必要ですが、そのランプを化学洗浄ステーションのすぐ近くに置くと問題が生じます。揮発性の蒸気が至る所に漂い、火花が発生して作業場が火災になってしまう可能性があります。 だからこそ、密封や反射機能を重視するのです。こ...

高精度なIR加熱を用いてウェーハ処理における二酸化炭素排出量を削減する 半導体製造の現場で働いたことがある人なら、熱の精度がいかに重要かを理解しているでしょう。長年にわたり、私たちはアニーリングや硬化処理のために大規模な抵抗式オーブンを利用してきましたが、正直なところ、これらはエネルギーを多く消費...

なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） ウェーハの加熱処理を行う際には、ミスの余地は一切ありません。わずかな電気アークや絶縁不良があるだけで、ランプが壊れるだけでなく、一括りのシリコン製品全体が台無しになってしまいます。これは、誰もが避けたい悪夢です。 そのため、私た...

ウェーハがスピントラックに到達し、時計が動き始める。ライン上では、1分間の温度変動がクリティカルディメンションを変化させるのに十分であり、1つの粒子が全ロットを無効にする可能性がある。古いドライヤーは300 mm全体で均一性を保つことができず、クリーンさも維持できなかった。我々はその変動を排除する...