窒化ガリウム(GaN) MOCVDヒーター

製造現場では、温度というのは快適さを保つためのものではなく、プロセス自体を安定させるための要素です。ウェーハの表面でわずか数十分の1度程度の温度変動があっても、エピタキシャル層の厚みが変わったり、ドーピングプロファイルが乱れたりして、一連の製造工程が台無しになってしまいます。GaN MOCVDヒー...