为什么说红外固化技术是升级生产设备的明智选择？ 在考虑升级洁净室设备时，通常需要解决两个问题：防止能量流失，以及确保产品符合无铅标准。 大多数传统设备都使用对流式烤箱来加热空气，再让空气来加热晶圆。这种方式效率低下，而且非常耗能。 因此，我们转而采用红外固化技术。这种技术不会让整个空间升温，而是直...

别再浪费热量了：镀金石英材料的神奇作用 在晶圆制造过程中，人们很快就会发现，将热量传递到硅片表面其实是一件相当困难的事情。 问题在于：普通的灯会向各个方向散发热量。也就是说，有一半的能量被用来加热机器的框架，而非硅片本身。这显然是一种巨大的浪费。 为了解决这个问题，我们使用了镀有黄金层的石英材料。...

为什么我们要用红外固化技术取代传统烤箱 半导体制造厂终于开始放弃那些庞大的对流式烤箱以及与之相关的化学干燥工艺。大家都转向使用红外固化技术。为什么呢？因为这种技术无需降低生产速度，就能实现“绿色”且“无铅”的加工效果。 减少能源浪费 想象一下普通烤箱的工作原理：先加热空气，再让空气来加热硅片。这其...

在处理易挥发化学品时使用红外加热器时，如何确保安全？ 如果您从事化学清洁工作，那么您应该很清楚其中的危险性。您所处理的都是易燃溶剂和蒸汽，它们随时都可能引发火灾。在这种环境下，普通的红外灯简直就是一颗定时炸弹——只要有一点火花或石英管出现细微裂缝，就有可能引发火灾。 为了解决这个问题，我们用碳纤维...

为何在半导体加工中要放弃热风加热，转而使用红外线加热？ 如果你仍然依赖热风循环来进行加热，那么你很可能要花费大量时间在等待上。在半导体的深度加工过程中，这种等待时间无疑是个大问题——它成了制约生产效率的瓶颈。 采用红外线加热，并不是要购买昂贵的新设备，而是为了节省时间。 热风加热的弊端 想想热风加...

经过认证的红外固化灯：半导体干燥领域的理想选择 让我们来谈谈这种专为半导体行业设计的红外固化灯。在这种领域里，一切都必须遵循严格的规范。这种灯不含铅，运行时不会产生污染物，且完全符合全球标准。在半导体制造过程中，干燥并不仅仅是提高温度而已，更重要的是要实现精确控制，确保整个过程井然有序。 功率、电...

在制造现场，烤箱的设定值只不过是屏幕上显示的一个数字而已。而真正重要的，是光刻胶在整个晶圆上所经历的实际温度变化情况。如果温度均匀性出现波动，那么CD控制就会受到影响，蚀刻过程也会随之出现问题。 从技术层面来看，关键在于： 我们设计的加热系统能够实现±0.1℃的精确温度控制，这样，无论是软烘还是硬...

在光刻过程中，光阻材料可不会理会那些理论上的要求。如果烘烤温度偏离90°C半度，就会导致晶圆上各处的厚度出现差异。这样一来，曝光精度就会下降。其后果就是产生废品、需要重新加工，还会浪费生产产能。 从技术层面来看，什么才是重要的？ 我们会根据半导体工艺的要求来选择合适的部件。石英卤素加热器能够发出短...

在芯片制造工厂中，光刻胶烘烤过程中1°C的温度波动其实并非“微小的偏差”。这种偏差会导致线路宽度的变化、表面瑕疵以及废品产生。红外加热虽然能够实现精确控温，但前提是供给红外源的电压必须足够稳定，这样才能保持恒定的温度。我们设计的红外电压调节器正是为了满足这一要求而制造的。 从技术角度来说，关键点在...