可与真空环境配合使用的红外线加热器

减少加工时间：为何真空红外加热器更优 如果在半导体深度加工领域工作，你一定知道，每一秒钟的浪费都意味着金钱的损失。很多人最初会选择使用热风循环系统，但如果你真的想大幅缩短加工时间，那就必须考虑使用与真空环境相兼容的红外加热器。 强制对流式加热器的问题在于：它需要气体介质来传递热量到晶圆上。但在真空...