为什么说红外固化技术是升级生产设备的明智选择？ 在考虑升级洁净室设备时，通常需要解决两个问题：防止能量流失，以及确保产品符合无铅标准。 大多数传统设备都使用对流式烤箱来加热空气，再让空气来加热晶圆。这种方式效率低下，而且非常耗能。 因此，我们转而采用红外固化技术。这种技术不会让整个空间升温，而是直...

在光刻过程中，光阻材料可不会理会那些理论上的要求。如果烘烤温度偏离90°C半度，就会导致晶圆上各处的厚度出现差异。这样一来，曝光精度就会下降。其后果就是产生废品、需要重新加工，还会浪费生产产能。 从技术层面来看，什么才是重要的？ 我们会根据半导体工艺的要求来选择合适的部件。石英卤素加热器能够发出短...