保持晶圆清洁：关于加热的真相 如果你在100级洁净室中工作，那你肯定知道颗粒物带来的麻烦。哪怕只是一小片金属碎片，或是廉价加热元件产生的气体，都可能让生产效率大幅下降。这真是令人沮丧。 因此，我们才使用高纯度的合成石英红外线灯。可以把它想象成一座“护盾”——它将加热丝紧紧包裹起来，从而确保不会有任...

如何防止化学晶圆处理工具发生爆炸？ 说实话，将易挥发、易燃的化学物质与红外线加热灯放在一起使用，简直就是自找灾难。因为这样的设置相当于在工艺过程中埋下了一个高风险的点火源。 我们找到了解决这个问题的方法：不再使用那些暴露在外的结构设计，而是用密封材料将整个装置包裹起来。 我们是如何确保安全的？ 普...

停止加热机器，开始让晶圆干燥吧。 如果你们曾经从事过MEMS制造工作，那么一定知道让晶圆干燥有多么困难。因为总会有各种残留物阻碍这一过程。 传统的加热方式——使用普通的对流式烤箱——其实效率很低。因为这样会使得整个腔室都处于高温状态，这不仅浪费能源，还会让昂贵设备的表面变成巨大的散热器。有时候，设...

在化学处理区域对晶圆进行固化处理时，如何确保安全？ 晶圆固化需要大量的热量，但如果将光源放置在化学清洗站附近，就会出现问题。因为此时，挥发性蒸汽无处不在，一旦出现火花，整个工作区就有可能变成火海。 因此，我们非常重视密封和反射功能。这不仅仅是为了控制热量，更是为了确保热量能被精准地传递到需要的地方...

利用精准的红外加热技术减少晶圆加工过程中的碳排放 如果您在半导体制造领域工作过，就会知道精确的温度控制至关重要。长期以来，我们一直依赖那些大型电阻炉来进行产品的固化与退火处理，但说实话，这些设备非常耗能。如果我们真想实现碳中和的目标，就必须停止这种浪费能源的行为。 这时，红外加热灯就派上用场了。...

为何我们要对每一盏灯进行测试（以及您为何应该关心这一点） 在处理晶圆加热的过程中，容错率几乎为零。哪怕有一丝电弧或绝缘层出现细微缺陷，都可能导致整批硅产品报废。这无疑是一场没人愿意面对的噩梦。 正因如此，我们不会只进行“抽样检测”。我们会对离开工厂的每一盏灯都进行彻底测试。没有例外。 高压环境的挑...

晶圆进入旋转轨道，计时开始。在生产线上，一分钟的温度漂移就足以影响关键尺寸，一粒微粒可能导致整批报废。传统烘干机难以在保持洁净的同时，实现整个300 mm晶圆的温度均匀性。我们设计了均匀加热晶圆烘干机，以消除这种波动。 核心技术解析 内部配置短波红外发射器，置于经反射器优化的腔室内，实现300...