停止加热机器，开始让晶圆干燥吧。
如果你们曾经从事过MEMS制造工作，那么一定知道让晶圆干燥有多么困难。因为总会有各种残留物阻碍这一过程。
传统的加热方式——使用普通的对流式烤箱——其实效率很低。因为这样会使得整个腔室都处于高温状态，这不仅浪费能源，还会让昂贵设备的表面变成巨大的散热器。有时候，设备表面的温度甚至高到足以烫伤人。
因此，我们转而采用定向红外线加热方式。
**关键在于：**我们不是让空气变热，而是让红外线直接照射在晶圆表面。我们选择短波红外线，因为它能更快地穿透晶圆表面的液体层。这样一来，晶圆就能得到所需的温度，而设备的其他部分则保持冷却状态。
不过，不能仅仅把灯对准晶圆就万事大吉了。还需要控制好热量的散射问题。我们必须精心调整焦距，并使用反射镜来集中光线。只有当光线足够集中时，才不会让热量散布到设备的其他部位。
如此一来，设备的表面温度就会保持较低水平。技术人员就可以在车间里自由活动，而不必担心被烫伤。
当然，这并非没有代价。高强度的红外线灯虽然能快速加热晶圆，但它们对电源的要求很高，而且必须精确定位。如果光线偏差几毫米，就可能会导致晶圆出现局部过热的情况。此外，还必须确保冷却风扇能够有效发挥作用。如果不能有效降低灯泡本身的热量，那么灯泡很快就会烧坏。
归根结底，与其试图给机器降温，不如从源头避免机器过热。