钼支架红外灯

在晶圆工艺中，光刻胶烘烤不仅仅是一个温度步骤——它是一种热契约。软烤或硬烤中1℃的偏差会导致关键尺寸变化，并随之影响产线良率。我们开发了钼支撑红外灯，以实现热线稳定，周期循环保持一致。 技术重点 发射器采用短波红外，提供快速、定向加热，确保加热过程始终在光刻胶的热预算范围内。钼支撑结构在高温下保持...