旋涂机烘烤灯

在光刻工艺中，烘烤过程并非简单的预热步骤，而是决定光阻性能的关键环节。如果软化烘烤或硬化烘烤时的温度偏差达到2°C，就会影响产品尺寸的精确控制，还会在晶圆表面留下杂质。旋转涂胶机的烘烤灯只有一个作用：以极高的稳定性维持工艺温度，确保每一分钟的温度都保持一致。 关键在于内部设计 我们选择石英封装的短...