用于半导体加热器的热电偶

如何避免工具中的热量泄漏问题 说实话，试图给半导体加工舱内部加热，同时又不让舱壁被烧坏，简直是个噩梦。 如果你使用传统的对流式加热器或全方位加热器，那么热量就会扩散到各个地方。这样一来，舱壁就会变热，从而引发各种问题。机箱可能会变形，而维修人员在进行维护时则有可能被烧伤。没人希望出现这种情况。 解...