停止让机器“过热”：更有效的红外加热方式 如果你曾经试图将高功率的红外灯安装在半导体设备中，那么你肯定知道这有多麻烦。因为这些灯会向各个方向散发热量，而其中一半的热量会直接作用于被加工的工件上，另一半则会让机器内部过热。这无疑是一种浪费。更糟糕的是，这样还会导致机器内部的部件被烧毁，其温度高到操作...

晶圆进入旋转轨道，计时开始。在生产线上，一分钟的温度漂移就足以影响关键尺寸，一粒微粒可能导致整批报废。传统烘干机难以在保持洁净的同时，实现整个300 mm晶圆的温度均匀性。我们设计了均匀加热晶圆烘干机，以消除这种波动。 核心技术解析 内部配置短波红外发射器，置于经反射器优化的腔室内，实现300...