光刻胶烘烤灯

在光刻工序中，即使软烘烤过程中的温度偏差只有半度，也足以导致关键尺寸出现纳米级的变化。这样的偏差会带来返工、废品问题，还会使产品无法符合规格要求。因此，我们特意设计了光刻胶烘烤装置，以确保其在不同批次加工过程中都能保持稳定的温度表现。 关键在于控制温度 我们使用短波红外光源来直接且快速地加热光刻胶...