保持晶圆清洁：关于加热的真相 如果你在100级洁净室中工作，那你肯定知道颗粒物带来的麻烦。哪怕只是一小片金属碎片，或是廉价加热元件产生的气体，都可能让生产效率大幅下降。这真是令人沮丧。 因此，我们才使用高纯度的合成石英红外线灯。可以把它想象成一座“护盾”——它将加热丝紧紧包裹起来，从而确保不会有任...

别再为半导体生产过程中的灯管破裂问题而烦恼了 说实话，当高负载生产过程中红外灯管发生破裂时，那简直就是一场灾难。问题不仅仅是机器停止运转那么简单，还有玻璃碎片和卤素气体会溅到晶圆上，导致晶圆被污染。哪怕只是一个小裂缝，也足以让整个生产过程陷入混乱状态。正因如此，我们才会以特殊的方式来设计这些系统。...