节能型晶圆加热器

保持晶圆清洁：关于加热的真相 如果你在100级洁净室中工作，那你肯定知道颗粒物带来的麻烦。哪怕只是一小片金属碎片，或是廉价加热元件产生的气体，都可能让生产效率大幅下降。这真是令人沮丧。 因此，我们才使用高纯度的合成石英红外线灯。可以把它想象成一座“护盾”——它将加热丝紧紧包裹起来，从而确保不会有任...