停止加热机器，开始让晶圆干燥吧。 如果你们曾经从事过MEMS制造工作，那么一定知道让晶圆干燥有多么困难。因为总会有各种残留物阻碍这一过程。 传统的加热方式——使用普通的对流式烤箱——其实效率很低。因为这样会使得整个腔室都处于高温状态，这不仅浪费能源，还会让昂贵设备的表面变成巨大的散热器。有时候，设...

在光刻车间，软烘和硬烘之间的温度控制余地非常有限。温度漂移半度即可导致光刻胶厚度变化，关键尺寸偏差发生偏移，从而使良率超出规格范围。我们开发了一种有机半导体干燥灯，以缩小该温度窗口，防止工艺失控。 核心技术要点 该干燥灯通过近红外（NIR）辐射照射晶圆，并严格控制光谱，实现快速的非接触式加热。在曝...