在易挥发化学物质周围安全使用红外加热器 如果您曾经从事过半导体湿法工艺的工作，那么您就明白其中的危险性。所使用的清洁剂具有很强的腐蚀性、易燃性，最糟糕的情况是还可能发生爆炸。 现在，想象一下把高温红外灯直接放置在这样的环境中。这简直是一种极其危险的设定。哪怕有小小的火花或电流泄漏，都可能引发灾难。...

别再为半导体生产过程中的灯管破裂问题而烦恼了 说实话，当高负载生产过程中红外灯管发生破裂时，那简直就是一场灾难。问题不仅仅是机器停止运转那么简单，还有玻璃碎片和卤素气体会溅到晶圆上，导致晶圆被污染。哪怕只是一个小裂缝，也足以让整个生产过程陷入混乱状态。正因如此，我们才会以特殊的方式来设计这些系统。...

如何避免工具中的热量泄漏问题 说实话，试图给半导体加工舱内部加热，同时又不让舱壁被烧坏，简直是个噩梦。 如果你使用传统的对流式加热器或全方位加热器，那么热量就会扩散到各个地方。这样一来，舱壁就会变热，从而引发各种问题。机箱可能会变形，而维修人员在进行维护时则有可能被烧伤。没人希望出现这种情况。 解...

我们设计这种加热元件的目的只有一个：那就是确保烤箱能够始终保持在所需的精确温度下——哪怕是十分之一度而已——即便在长时间烘烤的过程中也是如此。 如果你从事晶圆加工工作，那么你一定知道：哪怕只有微小的温度偏差，都可能导致产品报废。因此，你需要一种可靠、稳定的热源，这样才能保证日复一日、班次复班次的稳...

在工厂车间里，传送带式加热器的热漂移问题通常不会被当作重要问题来处理。它只会表现为光刻胶烘烤过程中0.3°C的温度偏差，而这种偏差又会导致线宽出现变化，从而需要花费一周时间来解决问题。我们设计的洁净室用传送带式加热器，其作用就是将温度控制在合理范围内——即处于工艺允许的范围内，避免出现偏差。 从技...

在光刻车间，软烘和硬烘之间的温度控制余地非常有限。温度漂移半度即可导致光刻胶厚度变化，关键尺寸偏差发生偏移，从而使良率超出规格范围。我们开发了一种有机半导体干燥灯，以缩小该温度窗口，防止工艺失控。 核心技术要点 该干燥灯通过近红外（NIR）辐射照射晶圆，并严格控制光谱，实现快速的非接触式加热。在曝...