均匀加热晶圆干燥机

晶圆进入旋转轨道，计时开始。在生产线上，一分钟的温度漂移就足以影响关键尺寸，一粒微粒可能导致整批报废。传统烘干机难以在保持洁净的同时，实现整个300 mm晶圆的温度均匀性。我们设计了均匀加热晶圆烘干机，以消除这种波动。 核心技术解析 内部配置短波红外发射器，置于经反射器优化的腔室内，实现300...