汽车工厂供暖解决方案

在制造现场，烤箱的设定值只不过是屏幕上显示的一个数字而已。而真正重要的，是光刻胶在整个晶圆上所经历的实际温度变化情况。如果温度均匀性出现波动，那么CD控制就会受到影响，蚀刻过程也会随之出现问题。 从技术层面来看，关键在于： 我们设计的加热系统能够实现±0.1℃的精确温度控制，这样，无论是软烘还是硬...