晶圆处理设备用温度传感器
如何防止化学晶圆处理工具发生爆炸?
说实话,将易挥发、易燃的化学物质与红外线加热灯放在一起使用,简直就是自找灾难。因为这样的设置相当于在工艺过程中埋下了一个高风险的点火源。
我们找到了解决这个问题的方法:不再使用那些暴露在外的结构设计,而是用密封材料将整个装置包裹起来。
我们是如何确保安全的?
普...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
停止加热机器,开始让晶圆干燥吧。
如果你们曾经从事过MEMS制造工作,那么一定知道让晶圆干燥有多么困难。因为总会有各种残留物阻碍这一过程。
传统的加热方式——使用普通的对流式烤箱——其实效率很低。因为这样会使得整个腔室都处于高温状态,这不仅浪费能源,还会让昂贵设备的表面变成巨大的散热器。有时候,设...
智能传感器封装红外技术
为什么要对每一个红外灯元件进行测试?(以及您为何应该关心这一点) 在智能传感器封装领域,哪怕只有一点点绝缘故障,都可能毁掉控制板,甚至让高速生产线陷入停滞状态。这显然是没人愿意看到的情况。 因此,我们不会采用“批量抽样”的方式来检测产品。我们不会只检测几支灯管,然后寄希望于一切顺利。每支离开我们工...
用于晶圆的精密红外传感器
利用精准的红外加热技术减少晶圆加工过程中的碳排放
如果您在半导体制造领域工作过,就会知道精确的温度控制至关重要。长期以来,我们一直依赖那些大型电阻炉来进行产品的固化与退火处理,但说实话,这些设备非常耗能。如果我们真想实现碳中和的目标,就必须停止这种浪费能源的行为。
这时,红外加热灯就派上用场了。...