用于晶圆的精密红外传感器
利用精准的红外加热技术减少晶圆加工过程中的碳排放
如果您在半导体制造领域工作过,就会知道精确的温度控制至关重要。长期以来,我们一直依赖那些大型电阻炉来进行产品的固化与退火处理,但说实话,这些设备非常耗能。如果我们真想实现碳中和的目标,就必须停止这种浪费能源的行为。
这时,红外加热灯就派上用场了。...
用于制造红外技术的电压调节器
在芯片制造工厂中,光刻胶烘烤过程中1°C的温度波动其实并非“微小的偏差”。这种偏差会导致线路宽度的变化、表面瑕疵以及废品产生。红外加热虽然能够实现精确控温,但前提是供给红外源的电压必须足够稳定,这样才能保持恒定的温度。我们设计的红外电压调节器正是为了满足这一要求而制造的。
从技术角度来说,关键点在...