减少加工时间：为何真空红外加热器更优 如果在半导体深度加工领域工作，你一定知道，每一秒钟的浪费都意味着金钱的损失。很多人最初会选择使用热风循环系统，但如果你真的想大幅缩短加工时间，那就必须考虑使用与真空环境相兼容的红外加热器。 强制对流式加热器的问题在于：它需要气体介质来传递热量到晶圆上。但在真空...

停止为整个房间加热：更智能的真空室加热方式 如果想要减少在半成品加工过程中的碳排放，那就不要再依赖那些效率低下的电阻式加热器了。它们实在浪费能源。 我们找到了更好的方法：与真空环境相适配的红外加热系统。与其试图让整个真空室都变热——这无疑是一种巨大的能源浪费——不如将热量直接传递到需要加热的物体上...