为什么我们要用红外固化技术取代传统烤箱 半导体制造厂终于开始放弃那些庞大的对流式烤箱以及与之相关的化学干燥工艺。大家都转向使用红外固化技术。为什么呢？因为这种技术无需降低生产速度，就能实现“绿色”且“无铅”的加工效果。 减少能源浪费 想象一下普通烤箱的工作原理：先加热空气，再让空气来加热硅片。这其...

在制造现场，烤箱的设定值只不过是屏幕上显示的一个数字而已。而真正重要的，是光刻胶在整个晶圆上所经历的实际温度变化情况。如果温度均匀性出现波动，那么CD控制就会受到影响，蚀刻过程也会随之出现问题。 从技术层面来看，关键在于： 我们设计的加热系统能够实现±0.1℃的精确温度控制，这样，无论是软烘还是硬...