用于光刻机的石英玻璃防护罩

别再浪费热量了：镀金石英材料的神奇作用 在晶圆制造过程中，人们很快就会发现，将热量传递到硅片表面其实是一件相当困难的事情。 问题在于：普通的灯会向各个方向散发热量。也就是说，有一半的能量被用来加热机器的框架，而非硅片本身。这显然是一种巨大的浪费。 为了解决这个问题，我们使用了镀有黄金层的石英材料。...