TEL 东京电子 加热灯

在光刻车间里，光刻胶烘烤过程中哪怕只有0.5℃的温度偏差，都可能导致大量产品报废。因此，我们需要的是稳定可靠的加热源，而不是不可预测的加热效果。我们设计了与TEL标准兼容的加热灯，它能够精确控制温度，确保在纳米级别上实现稳定的温度控制。 其核心原理是什么？ 我们采用了短波红外元件以及高纯度石英组件...