如何防止化学晶圆处理工具发生爆炸？
说实话，将易挥发、易燃的化学物质与红外线加热灯放在一起使用，简直就是自找灾难。因为这样的设置相当于在工艺过程中埋下了一个高风险的点火源。
我们找到了解决这个问题的方法：不再使用那些暴露在外的结构设计，而是用密封材料将整个装置包裹起来。
我们是如何确保安全的？
普通的红外线灯在化学环境中很容易出现故障，因为其电气连接点和密封处容易漏气，导致蒸汽进入设备内部，从而引发问题。为了解决这个问题，我们采用了两步法：首先，将灯放入由蓝宝石或耐化学腐蚀的石英制成的套管中；然后，用高温、防爆的密封剂来处理电气连接部分。这样就能从源头上避免火花产生。此外，我们还确保这些密封材料能够承受各种具有腐蚀性的清洁剂，这样设备才能在长期使用后仍保持完好无损。
如何应对热量问题？
你可能会觉得，增加这么多保护层会降低设备的发热效率。其实并非如此。我们花了大量时间来调整保护层的厚度，以确保红外线辐射能够顺利照射到晶圆上，而不会被套管吸收。不过需要注意的是，额外的保护层会增加设备的重量，这就意味着PID控制参数也需要相应调整。如果你要将这些设备安装在旧设备上，切勿直接沿用原来的设置，否则在升温过程中很可能会出现温度超限的情况。因此，你需要重新调整温度曲线。
如何将其集成到现有系统中？
我们设计的这些设备是可以直接替换原有设备的。由于安全防护结构已经内置在灯体中，因此无需再为整个设备打造复杂的防爆外壳。这样一来，设备的体积就会更小，工作环境也会更加整洁。只要确保你的接线符合相应洁净室的标准即可。