深冷系统辅助加热器

在芯片制造过程中，温度的稳定性并非可有可无的附加条件——它才是确保生产流程正常进行的关键。在晶圆干燥和光刻胶处理过程中，哪怕只有几十分之一的温度波动，都可能影响芯片的尺寸精度，导致残留物产生或出现表面缺陷。因此，我们设计了专门的低温系统加热器，以保持基材与加工区域之间的温度稳定。 从技术层面来看，...