저온 시스템용 보조 히터
팹 내에서는 온도의 안정성이 단순히 바람직한 요소가 아니라, 공정 자체의 핵심적인 요소입니다. 웨이퍼 건조나 포토레지스트 처리 시에는 단 몇 십 분의 일 도의 온도 변동만으로도 중요한 치수에 영향을 미치거나 잔여물이 남거나 표면 결함이 발생할 수 있습니다. 따라서 저...
몰리브덴 지지 적외선 램프
웨이퍼 플로어에서 포토레지스트 베이크는 단순한 온도 조절 단계를 넘어서는, 열 계약(thermal contract)입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 1℃의 편차는 중요한 치수 변화를 초래하며, 이는 라인 수율 감소로 이어집니다. 우리는 이러한 열 라인을 안정적...