전문적인 팹 장비 부품들

실제 생산 현장에서는 포토레지스트는 이론적인 것은 전혀 중요하지 않습니다. 90°C에서 약간의 온도 변동이 생겨도 웨이퍼 전체에 걸친 두께의 불균일성이 발생하게 되고, 그로 인해 노출 조건의 정밀도가 떨어집니다. 그 결과로 낭비되는 자재와 재작업 비용, 그리고 가동률...